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含硅废水怎么处理方法|含硅废水处理案例

南京某半导整理芯片造成厂,晶圆鑫霖环保工作中产生含硅、氟的唯一性焦化废水整理工艺,设定整理市场规模1200吨/日。焦化废水整理工艺物质繁琐,含有nm级硅粉末及氢佛酸,普通整理策略无发达到标准。 生产废水组成成分及源 一般废弃物物 :氢氧化铁硅(100-500nm粒度分布)、氟铝离子(200-300mg/L)、异丙醇 因素生产工序 :晶圆刻蚀工业工业废水(45%)、CMP化学工业机械性磨光工业工业废水(40%)、机清洗水(15%) 治理生产工艺具体步骤 特色化按照"耐腐蚀结晶+特总膜溶合"技巧自驾路线: 钙盐石雕文化沉淀 :加药氯化钙祛除氟铁离子(转化CaF2结晶) 斜管沉淀池反映 :包覆斜板沉淀池剂完成溶液硅脱稳 管式微滤 :0.1μm外径膜截流微细颗粒剂 反构建体统 :脱盐率>98%,的回收利用率75% 汽化结晶体 :浓水段保证 氟化物无废气排放量 不可能感觉 氟化物溶度:<8mg/L(底于国家地区二级标准规范10mg/L) 硅含锌量:<5mg/L 水市场造纸废水处理率:70%用作降温塔补湿 危险废弃物减量化:挥发渣子量较民俗生产技术极大减少60%

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