南京某半导整理芯片造成厂,晶圆鑫霖环保工作中产生含硅、氟的唯一性焦化废水整理工艺,设定整理市场规模1200吨/日。焦化废水整理工艺物质繁琐,含有nm级硅粉末及氢佛酸,普通整理策略无发达到标准。
生产废水组成成分及源
一般废弃物物
:氢氧化铁硅(100-500nm粒度分布)、氟铝离子(200-300mg/L)、异丙醇
因素生产工序
:晶圆刻蚀工业工业废水(45%)、CMP化学工业机械性磨光工业工业废水(40%)、机清洗水(15%)
治理生产工艺具体步骤
特色化按照"耐腐蚀结晶+特总膜溶合"技巧自驾路线:
钙盐石雕文化沉淀
:加药氯化钙祛除氟铁离子(转化CaF2结晶)
斜管沉淀池反映
:包覆斜板沉淀池剂完成溶液硅脱稳
管式微滤
:0.1μm外径膜截流微细颗粒剂
反构建体统
:脱盐率>98%,的回收利用率75%
汽化结晶体
:浓水段保证 氟化物无废气排放量
不可能感觉
氟化物溶度:<8mg/L(底于国家地区二级标准规范10mg/L)
硅含锌量:<5mg/L
水市场造纸废水处理率:70%用作降温塔补湿
危险废弃物减量化:挥发渣子量较民俗生产技术极大减少60%