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硅片清洗废水处理案例|硅片清洗废水处理方法

该厂为84英寸晶圆产量线一起的超软水体系,没天引起含硅化工废水150吨。化工废海里虽无天价属,但硅成分高易积灰,且电阻值率需做到18MΩ·cm就能造纸废水加工。和原有鑫霖环保设计没法做到新修订的《网上工业化的水造成的废水减排物原则》(GB39731-2020)尤其是减排物标准值。 工业废水材质优势 具体环境废水 :胶体溶液硅(200-300mg/L)、顆粒硅(颗粒直径0.1-1μm) 唯一性请求 :TOC<10μg/L,硼成分<5μg/L 水体质量特质 :低电阻率(<50μS/cm)但硅无机化合物要素繁杂 整理技艺方案 不断创新主要包括"梯级膜溶合+电去铁离子"组合名字的工艺: 微滤预补救 :1μm淘瓷膜拦阻大颗粒剂硅,通量恢复80LMH 阴离子对换硅橡胶 :D201大孔树脂材料确定性吸附性硅酸团伙 中级RO系统化 :弟一段回收分类处理率60%,二段主要包括高脱硼膜器件 EDI电去铝离子 :直流电压硬度2A/m²,持续不断删去残渣阴阳离子 UV紫外线杀菌消毒 :254nm分光光度计线药量40mJ/cm² 技术性突出点 开拓专属阻硅剂(生产胺类分手后复合物),延长时间膜影响过渡期3倍 EDI输出模块革新流道制作,硅删去率的提升至99.8% 免费在线硅浅析仪(校正的范围0.1-500μg/L)达到脱贫攻坚管理 程序运行取得的成绩 经再者方测试: 总硅从280mg/L降下来0.05mg/L 硼含水量从8μg/L降下来0.3μg/L 模式回笼率从原40%增加至68% 膜更換周期性加长至5年,年执行成本投入拉低35%

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