该晶圆研发厂坐落于豫东城市,具体出产8英尺半导体芯片晶圆,平均废水处理污染物量约800吨。由出产全过程中运行大规模盐酸实施晶圆蚀刻,影响废水处理中氟化物溶液浓度达到200-300mg/L,远超国家污染物细则(10mg/L下类)。
废渣基本成分及原因
电镀废水重点源于三重要环节:
晶圆蚀刻生产工序
:含浓度高值氟化物(HF)、硝酸铵及小量血本属
药剂学机械制造抛光剂(CMP)生产废水
:含nm级硅粒子、充分络合剂
机器除污化工废水
:含异丙醇、氧化还原电位等高分子化合物物
净化处理技术流程图
主要采用"耐腐蚀滤渣+混泥土滤渣+广度油烟净化器"三级职业资格证书处理软件:
特级操作
:加药系统氯化钙和氢脱色钙,构成氟化钙悠长岁月中,氟化物快速清理率达85%
2级清理
:调用PAC(聚合物氯化铝)和PAM(聚乙烯塑料酰胺),祛除溶液态环境破坏物
三级视频操作
:根据多媒介净化器和活性酶类炭活性炭吸附,满水后氟化物溶度增强在8mg/L如下
关键所在设配以及:pH自行调理装置、斜管乳浊液池、板框压泥机(污水脱水烘干)。
终结疗效
工程工作三年期监测站数据报告现示:
氟化物平衡含量:7.2mg/L(达不到我国细则)
COD取除率:92%
飞灰含水量率:≤65%
年收集氟化钙副的产品约150吨,达到信息化运用