好项目时代背景
某大型的半导制做行业设在长三边形省份,最主要的种植晶圆和电子器件。在种植时候中,晶圆裁切和抛光进行处理步骤有更多考虑液废气,每日摆放物量约50吨。因为废气中有高浓硫酸浓度悬屏物、废金属铁离子及有机酸添加图片剂,会摆放物会对生态环境产生较为严重的空气污染,行业急需用钱基本建设技术专业进行处理设备。
废液材料及原因
碾磨液电镀废水具体依赖于晶圆生产中的化学工业机诫镜面抛光(CMP)生产工艺,具体被污染的物属于:
悬浮按钮颗粒状物
:二空气氧化反应硅、空气氧化反应铝等碾磨粉末,粒度在0.1-1μm,渗透压达2000mg/L。
彩石阴阳离子
:铜、铁、锌等,原于打磨垫损伤及晶圆外表废金属层,铜亚铁离子浓硫酸浓度约50mg/L。
有机的添加图片剂
:是指的表面抗逆性剂、阻垢剂等,COD值在800-1200mg/L。
腐蚀性性成分
:pH值价格波动大,平常在2-11互相。
治理加工过程步骤
专门针对污水性,分为“预治理+生化模式+深层次治理”组合起来工艺流程:
转换池
:义均水质检测出水量,移除酸碱平衡调结pH至弱酸性。
沥青混凝土石雕文化沉淀
:加药PAC(缔合氯化铝)和PAM(聚丙稀酰胺),我们要除悬屏物和橡胶胶体部分,沉降后SS我们要除率>90%。
崔化腐蚀
:主要包括Fenton生化试剂(H₂O₂+Fe²⁺)光降解有机的添加图片剂,COD消除率达60%。
生物体治理
:MBR膜生物制品反馈器进步骤吸附结余有机化学物,COD降下来100mg/L之下。
阴阳离子传递
:专用箱树脂胶树脂吸附铜铁离子,出水量铜占比<0.5mg/L。
砂滤+渗透性炭活性炭过滤
:保障冒水使水变,达标《污水管道合理排放规定规定》(GB8978-1996)一級规定。
然后体验
程序加载维持后:
SS<10mg/L,COD<60mg/L,铜阳离子<0.3mg/L。
回收利用率达40%,已用未环保达标排卸物,年缩短生产废水排卸物1.6万吨。
解决料工费约15元/吨,远如果低于市场月均。